◆ 개요

Fab은 반도체 부품을 생산하는 공장, 컴퓨터 및 스마트폰 등의
핵심 부품인 CPU, GPU, RAM 등을 제조한다.

반도체 생산을 위한 Fab은 먼지와 소음, 자기장 등으로부터 완벽히 보호돼야 하며, 규소 덩어리를 판 형태로 자르고, 잘 연마한 다음 바이러스 만큼 작은 회로를 심는
작업을 거친 뒤 테스트하는 과정으로 만드는 구조물을 지칭한다. Fab과 같은 산업설비 및 정밀생산 공장은 나노 및 마이크로 단위의 설비로 정밀 장비를 운영하여
생산하기 위해서 는 장비별의 동강성 및 진동 기준, 운영 조건에 따른 구조물의 형태, 기초의 지지조건, 다양한 결합부, 복합재료 등을 고려하여 구조물의 고유진동수,
동적 설계와 내부의 진 동 발생 설비인 정밀 장비의 유틸리티, 펌프, 배관 등과 외부의 진동원이 장비에게 전달되는 경로인 불확실한 동적 물성치를 가지고 있는
지반의 영향성을 신뢰성 있게 평가 하는 일이 매우 중요하다. 이러한 제한 조건을 해결할 수 있는 방법으로 대상구조의 실험이나 계측자료를 활용한 전달함수 특성을 평가하고 이것을 해석적인 과정에 결합하는 준경험적
방법에 의한 동적 해석법을 이용하여, 지반 및 복합구조물의 동적 설계를 하고 있다. 동적 설계 법의 특징에는 대상 구조의 실험 및 계측 데이터에 의한 전달특성을
고려한 해석모델 구축, 예측 지점의 계측 결과에 의한 동적 가진력 평가(입력부 보정), 예측 지점과 응답 지점의 계측 결과에 의한 실 구조물 전달특성
고려(전달부 보정), 응답 지점의 진동 계측결과에 의한 최종응답 평가가 있다. 초기 단계의 동적 설계의 특징은 대상구조와 가장 유사한 동적 조건을 가진
모델의 실측 및 해석데이터 이용, 대상구조의 초기 동적 해석모델의 경우 유사모델의 정보 이용하는 것이다.

아래의 유사사례는 Fab 구조물의 진동 설계를 위해 기계 기초 구조를 대표할 수 있는 최대 취약 구조 부위를 선정하고 이 위치에서 주파수별 단위하중에 대한 응답해석 (조화해석 : Harmonic Analysis)을 진행하고, 장비별 동강성 및 진동 기준에 적합한지 검토 후 동적 해석과 동적 실험의 상관성 및 동특성 개선 대책 수립시의 활용을 위하여 구조물의 동특석 해석과 실험 결과를 최대 응답 예상지점에서 비교 평가를 수행하였다.

◆주요 업무

대상구조의 실험이나 계측자료를 활용한 전달함수 특성을 평가하고
이것을 해석적인 과정에 결합하는 준경험적 방법에 의한 동적 해석법을 이용하여,
지반 및 복합구조물의 동적 설계를 하고 있다.

사업실적⁰